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活性炭废气处理设备

半导体废气处理

日期:2017-2-22 16:39:31 人气:1226

一、半导体废气的产生


由于半导体工艺对操作室清洁度要求极 ,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类:酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。

 

二、半导体废气危害


 

半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理 行排放,将造成严重的问题,不仅影响人们的身体健康,恶化大气环境,造成环境污染的公害事件等,也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。


三、半导体废气处理设备采用方法


 

依据这些废气的特性,在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法,针对不同污染物,可采取以下综合处理方法:

1.一般排气系统

2.酸性、碱性废气处理系统

3.有机废气处理系统

 

四、半导体废气处理设备 势


 

1、净化效率 ,100 环保验收达标

2、设备占地少,安装方便;
3、耗水、耗电指标较低;
4、耐腐蚀、不磨损,使用寿命长;
5、设备运行可靠,维护简单、方便。


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